褚祥诚1，仲作金1，张红军2，张淑兰3，周梅4，崔宏超3，文军4，钟敏霖2 （1.清华大学材料学院新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084； 2.清华大学材料学院激光材料加工研究中心先进成形制造教育部重点实验室，北京 100084； 3.北京派和科技股份有限公司，北京 100083； 4.佛山市陶瓷研究所有限公司，佛山 528031） 摘 要：喷墨打印头的喷孔直径一般为几十微米，材料一般是有机薄膜、不锈钢薄片等。针对有机膜等作为喷嘴板材料的缺陷，采用氧化锆陶瓷代替，以提高耐磨能力和耐腐蚀性。采用皮秒激光打孔方法，可在多种材料上加工出直径几十微米的小孔，包括聚酰亚胺（厚度50 μm）、氧化锆陶瓷（厚度120 μm）和铜片（厚度70 μm）。通过控制不同的参数变化，可制备出孔径约20 μm、孔间距为140 μm的喷孔阵列。对比不同参数下喷孔尺寸和微观形貌发现，较高功率密度、较低单点停留时间有助于得到圆孔，减少重铸层。 关键词：喷墨孔；氧化锆陶瓷；聚酰亚胺；铜片；皮秒激光打孔 |
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